Subsystemkomponenter inrymt i montern och utlastningsanordningen som generera och övervaka elektronstrålen. Komponenter i montern inkluderar RF källa och nätaggregat, och avsnitten klystron, komponenter i utlastningsanordningen inkluderar elektronkanon, linjär accelerator (Linac), böja magnet, positionering komponenter (karusell enheter, energi switch enhet och målenheten), mål, ion växlare och olika sensorer.